HOME > 製品案内> MetOne モデル6003/6015
○ さまざまな出力方式で洗浄度モニタ
リングシステム構築が可能
測定粒子径 | Model 6003 : 0.3/0.5μm(標準2粒径) 0.3/0.5/1.0/5.0μm(オプション4粒径) Model 6015 : 0.5/5.0μm(標準2粒径) 0.5/1.0/5.0/10.0μm(オプション4粒径) |
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吸引流量 | Model 6003 : 2.83 ℓ/分 Model 6015 : 28.3 ℓ/分 |
光源 | 半導体レーザ |
同時係数誤差 | Model 6003 : 5%以下、最大濃度2,000,000個/28.3 ℓ Model 6015 : 5%以下、最大濃度400,000個/28.3 ℓ |
流量調整 | クリティカルオリフィス (-0.051MPa=-380mmHg以上の真空源) |
電源 | 9~28Vdc |
出力 | RS-485、RS-232C、Ethernet 4-20mA、Pulse |
寸法 | 135.6(W)×89.3(D)×120.6(H)mm |
重量 | 0.82kg |
動作環境 | 温度10~32℃、湿度5~95%(結露なきこと) |
保管環境 | 温度-40~70℃、湿度5~98%(結露なきこと) |
※本仕様は改良等のため予告なく変更することがあります。
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